Ce petit laser excimer à guide d'onde est pompé par un magnétron pulsé émettant à 3.1 GHz. Il peut fonctionner aux longueurs d'ondes de 193nm (ArF) ; 248nm (KrF) et 308nm (XeCl) Sa fréquence de répétition est ajustable entre 100Hz et 2kHz avec une énergie de sortie de 12 microjoules.
Avec ce type de laser on peut usiner tous types de matériaux même le diamant !
