Ce laser excimer XeCl est un prototype en cours de construction basé sur le système MOPALITE® comprenant un
oscillateur dont la sortie passe à travers un télescope, puis est
injecté dans un amplificateur de manière à obtenir une émission limite
de diffraction.
Les électrodes de décharge et les électrodes de pré-ionisation son en nickel pour éviter des problème de corrosion.