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049 Laser excimer XeCl MOPA limite de diffraction



Ce laser excimer XeCl est un prototype en cours de construction basé sur le système MOPALITE® comprenant un oscillateur dont la sortie passe à travers un télescope, puis est injecté dans un amplificateur de manière à obtenir une émission limite de diffraction.

Les électrodes de décharge et les électrodes de pré-ionisation son en nickel pour éviter des problème de corrosion.


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